產品介紹
● 等離子體密度
● 電子溫度
● 離子流密度
● 等離子體電位
● 懸浮電位
● 電子能量分布函數（EEDF） 主要指標
時間分辨率
12.5ns
懸浮電位
-145V到145V
等離子體電位
-100V到145V
等離子體密度
106 到3x1013cm-3
離子流密度
1uA/cm2到300mA/cm2
電子溫度
0.1?15 eV
EEDF
0到100 eV
產品規格
朗繆爾探針適用于：
DC、RF、微波、連續和脈沖等離子體源
RF等離子體
2MHz到100MHz寬帶
探針長度
150~400mm（后續確定具體長度）
探頭直徑
6.5mm（可定制）
探針針尖長度
10mm（可定制）
探頭尖端直徑
0.4mm（可定制）
探頭尖端材料
鎢，鉭，鎳，鉑（可定制）
探頭
90°、45°彎曲（可定制）
最高工作溫度
230℃（自定義到1200℃）
電子控制單元
探頭電壓掃描范圍
-150V到+150 V
電流范圍
15nA到
1A
通信USB
步進電機參數表
行 程
300mm ,600mm ,900mm, 1.4m 可定制
最高速率
25mm/sec
真空度
泄漏速率小于1×10-10mbar.1.sec-1
烘烤溫度
230oC
